Сухие насосы для производства полупроводников
Высокая экологичность и надежность при сниженной стоимости владения
В инновационных сухих насосах Edwards применяются передовые технологии, специально разработанные для улучшения условий производства полупроводников и электроники. Все серии насосов имеют специальную конструкцию, которая обеспечивает улучшение экологических показателей, повышает надежность при эксплуатации в сложных условиях и гибкость применения для облегченных режимов работы.
Серия iXM — низкое потребление энергии
Использование сухих насосов iXM с низким энергопотреблением позволяет существенно оптимизировать технологический процесс за счет увеличения времени бесперебойной работы, снижения воздействия на окружающую среду и сокращения затрат при эксплуатации критически важного оборудования.
- Энергоэффективный механизм Рутса позволяет снизить потребляемую мощность почти на 60 %, уменьшает вредное воздействие на окружающую среду и снижает стоимость владения
- Благодаря газовому уплотнению и более точному тепловому расчету коррозионная стойкость новых насосов в четыре раза выше, чем у изделий предыдущих серий
- Улучшенные возможности работы с порошковыми материалами обеспечивают максимальную надежность и продлевают срок службы насосов, используемых для многослойного травления, а также позволяют снизить потребление энергии в процессе химического осаждения из газовой фазы (CVD)
- Компактная и легкая конструкция в сочетании с исключительно низким уровнем шума и вибрации обеспечивает большую универсальность применения
- Варианты исполнения с применением технологии Xcede, обеспечивающей повышенную коррозионную стойкость.
Серия iXH — для жестких условий эксплуатации
Сухие насосы iXH устанавливают новые стандарты технологических возможностей, надежности и сокращения стоимости владения для оборудования, используемого в тяжелых условиях.